который имеет большее сопротивление, или через контакт?

[santhosh.mandugula]

которая имеет большее сопротивление, или через контакт?

 

[pit1000]

Для nonsilicide технологий через сопротивления будет гораздо меньше контакта (сопоставимых размеров).Сопротивление контакта зависит не только от геометрических размеров, но и от степени легирования материалов, к которым осуществляется контакт.
Для технологии с силицидном разница сопротивление будет определяться, как правило, соотношение геометрических размеров, поэтому сопротивление контакта будут выше в 1,5 - 2 раза, чем по обычным слоев металла и в 4 - 6 раз за толстыми слоями металл .

 

[santhosh.mandugula]

В чем разница между силицидов и техники, не силицидном?

 

[jecyhale]

santhosh.mandugula пишет:

которая имеет большее сопротивление, или через контакт?

 

[vijay.kumarreddy]

контактное сопротивление намного больше по сравнению с ВЬЯС как контакт смеси полупроводников и металлов, где, как ВЬЯС просто смеси металлов.
salicid специальный слой cquoting чтобы уменьшить сопротивление.

 

[obi1]

Как вы поднимаетесь в структуре, сопротивлений GETING все меньше и меньше, поэтому контакты наибольшего сопротивления, обычные 3-4 раза, что VIA1

 

[k_90]

Я согласен contance имеет гораздо более высокую устойчивость.