есть проблемы в этой формой?

[renwl]

Металл 4
|
via3
|
metal3
|
VIA2
|
Металл 2
|
via1
|
metal1
|
Контактная информация
|
poly2
poly1

Я хочу, чтобы нарисовать линию на металл 4 от двойного поле конденсатора.Существуют ли какие-либо проблемы, когда есть так много ВЬЯС до пола?это надежная на процессе?

 

[eeliuliu]

оно может увеличить сопротивление и паразитарных Cap.Если рабочая частота не очень высока, я думаю, It's OK!

 

[renwl]

frequecny схемы является низкая частота.
потому ВЬЯС необходимости технологического тепла и СС, тем больше ВЬЯС означать больше шагов процесса до пола.Я хочу знать, это повлияет на reliablity?
спасибо

 

[pyth2004]

привет,

Вы использовали процесс имеет химико-механического полирования?Если нет, поверхность верхнего слоя металла не будет плоским особенно в верхней части двойного пола Cap.Он будет вызывать более травления металлических проводов над обшивка пола шапку и будут резать.

renwl пишет:

Металл 4

|

via3

|

metal3

|

VIA2

|

Металл 2

|

via1

|

metal1

|

Контактная информация

|

poly2

poly1Я хочу, чтобы нарисовать линию на металл 4 от двойного поле конденсатора.
Существуют ли какие-либо проблемы, когда есть так много ВЬЯС до пола?
это надежная на процессе?

 

[renwl]

Также я не знаю процессе использования СС или нет.
как я могу знать?
Я думаю, что это стандартный шаг процесса, верно?

 

[williamy]

Теперь в стандартном процессе VLSI, СС часто используется.Более того, вы можете равномерное расположение ВЬЯС